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室内尘粒的级别标准
洁净室的洁净度一般是指洁净室内空气中大于、等于某一粒径的浮游粒子浓度(单位空气体积内的粒子颗数)。洁净室洁净度等级,各国均有各自的标准规定,是不完全相同的。最早标准出自没过1966年锁颁布的联邦标准FS-209A,以后相继修订到1992年,改成FS-209E。
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