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没有24nm光刻机的说法,24nm说的是芯片制程。
目前主流光刻机按光源划分成三代:紫外光(UV),i线:365nm 可生产32-90纳米芯片。
深紫外光(DUV),KrF 准分子激光:248 nm, ArF 准分子激光:193 nm 可生产7-28纳米芯片
极紫外光(EUV),10 ~ 15 nm
可生产5纳米及以下芯片。
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