单晶炉煅烧流程

单晶炉热系统中有许多器件是用石墨加工 而成，而石墨化炉是在石墨坯料上覆盖了大量的石墨焦炭来保护，进行高温处理，不通保护 气体，是在常压下进行，所以用这种石墨加工出来的器件含有大量的灰份，另外石墨材料由 于在加工及运输过程中的沾污及含有水份等，必须经高温彻底煅烧后才能适合晶体生长使用。

通常煅烧处理都在单晶炉中进行，但由于单晶炉热系统中的加热器置于热系统中 间，加热器的形状是园桶形，一个22英寸加热器有效煅烧直径为600mm左右，有效热区的高 度只有500mm左右，因此它主要能加热的方向和范围仅限于加热器内部有限区域及对应的 外侧，而热系统的大部份区域不直接面对加热器难以直接加热，使得热系统的上、下部位及 保温罩外层区域都无法得到高温的有效锻烧，其结果只能是大大延长锻烧时间，由加热器 间接传递的热量缓慢进行加热，这样的方式不仅化费大量时间，还因为煅烧效果不佳使开 始几炉拉晶不顺利。单晶炉是一个重要、耗能量大、造价昂贵的工作设备，化费很长时间对 单晶炉热系统中新的石墨器件、保温材料用于煅烧加热处理是一种巨大的设备和能源的耗 费，大大耽误单晶炉的正常工作时间和效率。

至今为止由单晶炉对单晶炉热系统进行加热煅烧处理，既是一种本领域习惯为常 的思维方式、习惯的煅烧处理方法，也是一种无奈之举。

在日益追求高工作效率，降低能源消耗，尤其是世界范围的金融、经济危机加重的 今天，迫切希望能有所改善的方法和举措。