板面平整度测量方法

1、塞尺测量法

只需一套可随身携带的塞尺就可随时随地进行平面度的粗测。目前很多工厂仍使用该方法进行检测。由于其精度不高，常规最薄塞尺为10um，检测效率较低，结果不够全面，只能检测零件边缘。

2、液平面法

基于连通器工作原理，适合测量连续或不连续的大平面的平面度，但测量时间长，且对温度敏感，仅适用于测量精度较低的平面。

3、激光平面干涉仪测量法

最典型的用法是平晶干涉法。但主要于测量光洁的小平面的测量，如千分头测量面，量规的工作面，光学透镜。

4、水平仪测量法

广泛用于工件表面的直线度和平面度测量。测量精度高、稳定性好、体积小、携带方便。但是用该方法测量时需要反复挪动仪器位置，记录各测点的数据，费时、费力，调整时间长，数据处理程序繁琐。

5、打表测量法

典型应用为平板测微仪及三坐标仪，其中优以三坐标仪为应用最广泛。测量时指示器在待测样品上移动，按选定的布点测取各测量点相对于测量基准的数据，再经过数据处理评定出平面度误差。但其效率较低，通常一个样品需要几分钟，离15ppm的期望相差甚远。