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回答 1 2024-06-20 20:43

单晶硅片生产流程

已解决 悬赏分:80 - 解决时间 2024-11-15 18:16
单晶硅片生产流程急求答案,帮忙回答下
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支持 0 反对 0 举报 2024-06-20 20:43

单晶硅生产工艺流程:

1、 石头加工

开始是石头,(石头都含硅),把石头加热,变成液态,在加热变成气态,把气体通过一个密封的大箱了,箱子里有N多的子晶加热,两头用石墨夹住的,气休通过这个箱子,子晶会把气体中的一种吸符到子晶上,子晶慢慢就变粗了,因为是有体变固休,所以很慢,一个月左右,箱子里有就很多长长的原生多品硅。

2、 酸洗

当然, 还有很多的废气啊什么的,(四氯化硅)就是生产过程中产生的吧,好像现在还不能很好处理这东西,废话不多说,原生多晶有了,就开始酸洗,氢气酸啊硝酸啊,乙酸啊什么的把原生多晶外面的东西洗干净了,就过烘房烘干,无尘检查打包。

3、拉晶

送到拉晶,拉晶就是用拉晶炉把多晶硅加热融化,在用子晶向上拉引,工人先把多晶硅放进石英锅里,(厂里为了减少成本,也会用一些洗好的电池片,碎硅片一起融)关上炉子加热,石英锅的融点1700度,硅的融点才1410度左右,融化了硅以后石英锅慢慢转起来,子晶从上面下降,点到锅的中心液面点,也慢慢反方向转,锅下面同时在电加热,液面上加冷,子晶点到液面上就会出现一个光点,慢慢旋转,向上拉引,放肩,转肩,正常拉棒,收尾,一天半左右,一个单晶棒就出来了。

4、切方

单晶棒有了就切方,单晶棒一般是做6英寸的,P型,电阻率0.5-6欧姆(一英寸等于2.4厘米左右)切掉棒子四边,做成有倒角的正方形,在切片,0.22毫米一片吧。

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