沈阳有哪些半导体相关企业

沈阳是中国半导体产业的重要城市之一，拥有多家半导体相关企业。根据我的搜索结果，沈阳的主要半导体企业包括：

1. **沈阳芯源微电子设备股份有限公司**：这是一家专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务的国家高新技术企业，由中科院沈阳自动化研究所发起创建。

2. **沈阳中科博微自动化技术有限公司**：这家公司也是沈阳半导体产业的重要参与者之一。

3. **中国科学院沈阳分院**：在半导体领域，中国科学院沈阳分院也扮演着重要角色。

4. **东北大学**和**沈阳工业大学**：这两所大学在半导体技术和人才培养方面发挥着重要作用。

5. **沈阳汉科半导体材料有限公司**：这是一家主要生产半导体工业应用的石英产品的外资企业。

6. **辽宁冷芯半导体科技有限公司**：这家公司面向半导体集成电路领域提供主动控温技术方案。

沈阳的半导体产业涵盖了集成电路装备产业链的多个环节，包括整机装备制造、关键单元部件生产、集成电路制造和封测等。这些企业在薄膜沉积、涂胶显影、湿法刻蚀、清洗机等整机装备和关键单元部件方面形成了独具特色的产业体系和批量生产能力。沈阳的半导体产业链上游拥有富创、新松、中科仪、硅基、中科博微等企业，能够供应关键零部件和控制系统；产业链中游为整机装备制造商，如芯源微、拓荆、仪表院等；产业链下游则包括中电科第47所和仪表院等企业，从事集成电路制造和封测。