efm是什么仪器

静电力显微镜

静电力显微镜（英文名：Electrostatic Force Microscopy, 简称EFM）是一种利用测量探针与样品的静电相互作用，来表征样品表面静电势能，电荷分布以及电荷输运的扫描探针显微镜。

静电力显微镜的工作原理与原子力显微镜类似。关键部分都是由悬臂梁组成的探针。但与原子力显微镜测量探针与样品的范德华力不同，静电力显微镜通过测量两者的库仑相互作用来实现样品成像。