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洁净室通常使用过滤和净化后的空气作为主要气体。洁净室内部的空气通过空调、过滤器和其他净化设备进行循环和过滤,以确保室内的空气质量符合特定要求。
洁净室还可能根据具体需求,调节温度、湿度和气压等参数。
在某些特定行业,如半导体、光电子、医药等,还可能使用氮气、氧气、氢气等特定气体,以满足特殊的工艺和设备要求。
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