为什么要沉积钝化层机构

当暴露于或存储在大气条件下时，许多金属易于氧化。金属的氧化导致金属表面上形成金属氧化物。表面金属氧化物的形成对金属的化学、机械、光学和电学性质产生不利影响。基于这些原因，通常在形成电连接之前从金属表面去除金属氧化物。然而，金属氧化物可能生长到超过纳米量级，并且去除金属氧化物困难且耗时。因此，希望防止表面金属氧化物的形成。

用于防止表面金属氧化物形成的已知方法包括形成钝化层。“钝化层”是沉积在基底表面上的保护膜、层或涂层，以抑制或阻止在基底表面发生的化学反应，例如氧化反应。钝化层通常用作氧化阻挡层，该氧化阻挡层阻止下方表面的氧化。在金属表面(例如铜表面)的情况下，钝化层阻止金属表面的氧化，并由此防腐蚀。

有些已知的钝化层是永久性的。例如，已知将氧化铝直接沉积至金属表面上以抑制氧化。然而，去除这种永久钝化层通常需要可能破坏基底的其他组件的侵蚀性的化学蚀刻、机械抛光或其他工艺。