真空镀膜抽真空抽不动怎么检查

在进行真空镀膜过程中，如果发现抽真空抽不动，可以按照以下步骤进行检查：

1. 检查真空泵的状态：确认真空泵的电源是否正常接通，检查泵的开关和相关仪表是否正常工作。

2. 检查真空泵的油液：检查真空泵的油液是否充足，并确保油液清洁。

3. 检查真空泵的进气口和排气口：确保进气口和排气口没有堵塞，如果有堵塞，可以进行清洁或更换相关部件。

4. 检查真空泵的密封：检查真空泵的密封情况，确保密封性良好。如果发现泄漏，可以进行紧固或更换密封件。

5. 检查真空管路：检查真空管路是否有漏气或松动的地方，如果有，及时进行修复。

6. 检查真空测量仪器：使用真空测量仪器对真空系统进行检测，确认系统是否达到所需的真空度要求。

如果以上步骤都检查完毕后，仍然无法解决抽真空抽不动的问题，建议联系专业的技术人员进行维修和调试。